?、匐x子束流強(qiáng)

　　即能夠獲得的有用離子束的等效電流強(qiáng)度，用電流單位A或mA表示。

　　②有用離子百分比

　　即有用離子束占總離子束的百分比。一般來說，離子源給出的總離子束包括單電荷離子、多電荷離子、各種分子離子和雜質(zhì)元素離子等的離子束。

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　　由于離子的熱運(yùn)動(dòng)和引出地點(diǎn)的不同，使得離子源給出的離子束的能量對(duì)要求的單一能量有一定離散，一般希望能散度盡量小，在高精度的離子束應(yīng)用中尤其是這樣。

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　　以離子束的截面和張角表示。聚焦不好的離子束在傳輸過程中會(huì)使離子大量丟失。獲得良好聚焦特性的離子束的最終障礙是束中離子之間的靜電排斥力，為了克服這一障礙，應(yīng)盡早使離子獲得較高能量。

　　⑤離子源的效率

　　以離子束形式引出的工作物質(zhì)占總消耗的工作物質(zhì)的比例。

　　⑥工作壽命

　　離子源一次安裝以后使用的時(shí)間。