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導(dǎo)語

  半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,可用來制作功率器件、晶體管、集成電路、光電器件等。作為現(xiàn)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已成為社會發(fā)展和國民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè),是現(xiàn)代日常生活和未來科技進(jìn)步必不可少的重要組成部分。

  伴隨著科技進(jìn)步,全球范圍內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)?;径急3种掷m(xù)擴(kuò)張態(tài)勢?!吨腥A人民共和國國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》中,將第三代半導(dǎo)體材料作為強化國家的戰(zhàn)略科技力量;中國半導(dǎo)體市場已成為全球增長引擎。

  目前,芯片制程已經(jīng)從微米進(jìn)入到納米時代,達(dá)到了半導(dǎo)體制程設(shè)備和制造工藝的極限,任何細(xì)微的污染都可能改變半導(dǎo)體的性質(zhì)。因此,對半導(dǎo)體的硅片晶圓純度、生產(chǎn)過程中使用的清洗劑和刻蝕劑的純度、封裝材料、環(huán)境潔凈度的檢測,為半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)提供多層次技術(shù)支撐尤為重要。主要依賴的檢測技術(shù)包括離子色譜、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(單四極桿、三重四極桿 ICP-MS)、高分辨電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(HR-ICP-MS)、電感耦合原子發(fā)射光譜儀(ICP-AES)、輝光放電質(zhì)譜儀(GD-MS)、氣質(zhì)聯(lián)用儀、拉曼光譜、光學(xué)顯微鏡、XRF等。

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