GB/T 19921-2018
硅拋光片表面顆粒測試方法
Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
GBT19921-2018, GB19921-2018
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 19921-2018
- 別名
- GBT19921-2018, GB19921-2018
- 發(fā)布
- 2018年
- 總頁數(shù)
- 29頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 19921-2018
- 被代替標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 19921-2005
- 適用范圍
- 本附錄規(guī)定了掃描表面檢查系統(tǒng)的俘獲率、虛假計數(shù)率以及累計虛假計數(shù)率的確定方法。它是作為檢測局部光散射體尺寸的乳膠球當(dāng)量的函數(shù)計算得到的。 本附錄適用于經(jīng)過校準(zhǔn)的掃描表面檢查系統(tǒng)在無圖形的晶片表面進(jìn)行確定。對于 $130\mathrm{nm}{\sim}11\mathrm{nm}$ 線寬用硅片，掃描表面檢查系統(tǒng)的俘獲率要求見本附錄。
| 術(shù)語 | 描述 |
|---|---|
| 尺寸 size | 指局部光散射體的乳膠球當(dāng)量直徑 |
GB/T 19921-2018 中提到的儀器設(shè)備
| 掃描表面檢查系統(tǒng) | 用于檢測晶片表面局部光散射體的設(shè)備 |
| 離線分析軟件程序 | 用于追蹤每個觀察到的計數(shù)和測定俘獲率、尺寸標(biāo)準(zhǔn)偏差等數(shù)據(jù) |