? ? 氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專(zhuān)門(mén)用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度最高,用得最普遍的檢漏儀器。? ? 氦質(zhì)譜檢漏儀方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s 數(shù)量級(jí),儀器響應(yīng)快,氦分子在...
?、凫`敏度及其校準(zhǔn) 氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度,通常指儀器的最小可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于最佳工作條件下,以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的最小漏孔漏率。所謂“最佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到最佳值,被檢件出氣少且沒(méi)有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的...
1、檢漏儀內(nèi)部泄漏 (1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu) 當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè),位于隔熱板的上方:①檢漏儀測(cè)試口與閥門(mén)組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運(yùn)輸過(guò)程中如遇到強(qiáng)烈震動(dòng),此處容易造成密封膠開(kāi)裂。②各...
? ? 氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。? ? ①單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀? ? 現(xiàn)以HZJ—l型儀器為例.介紹單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀。? ? 在質(zhì)譜室內(nèi)有:由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源;由外加均勻磁場(chǎng)、擋板及出口縫隙組成分析器;由...
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