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BS ISO 22278 精細(xì)陶瓷（高級(jí)陶瓷、先進(jìn)技術(shù)陶瓷） 采用平行X射線束X射線衍射法測(cè)定單晶薄膜（晶片）結(jié)晶質(zhì)量的測(cè)試方法

BS ISO 22278. Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

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發(fā)布

2020年

發(fā)布單位

英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)

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