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GB/T 28894-2012
表面化學(xué)分析.分析前樣品的處理

Surface chemical analysis.Handing of specimens prior to analysis

GBT28894-2012, GB28894-2012


標準號
GB/T 28894-2012
別名
GBT28894-2012, GB28894-2012
發(fā)布
2012年
總頁數(shù)
11頁
采用標準
ISO 18117:2009 IDT
發(fā)布單位
國家質(zhì)檢總局
當前最新
GB/T 28894-2012
 
 
引用標準
GB/T 22461-2008 ISO 18116:2005
 
 
本體
樣品處理 污染控制 表面化學(xué)分析
適用范圍
本標準規(guī)定了表面化學(xué)分析樣品的處理和存放容器的要求。本標準適用于表面化學(xué)分析設(shè)備的用戶了解表面化學(xué)分析技術(shù)的特殊樣品處理要求,特別是俄歇電子能譜(AES)、二次離子質(zhì)譜(SIMS)和X射線光電子能譜(XPS或ESCA)。本標準也適用于對表面組成敏感的其他分析技術(shù),如TXRF.對于特定的實例,特定的樣品,需要更加注意。
術(shù)語描述
俄歇電子能譜
Auger Electron Spectroscopy (AES)
一種用于分析材料表面元素組成的工具射線光電子能譜技術(shù)。
二次離子質(zhì)譜
Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)
一種用于檢測和分析樣品表面化學(xué)成分的高靈敏度技術(shù),特別適用于痕量元素的檢測。
X射線光電子能譜
X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS或ESCA)
一種利用X射線激發(fā)材料表面電子來分析其化學(xué)組成的工具。

GB/T 28894-2012 中提到的儀器設(shè)備

X射線光電子能譜儀
如Thermo Scientific ESCALAB系列
用于分析材料表面化學(xué)組成的高分辨率工具,常用于科研和工業(yè)質(zhì)量控制。
俄歇電子能譜儀
根據(jù)不同應(yīng)用需求定制
用于檢測材料表面元素組成的分析設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)等領(lǐng)域。

其他標準


專題


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