GB/T 14146-2009
硅外延層載流子濃度測定.汞探針電容-電壓法
Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method
GBT14146-2009, GB14146-2009
2021-12
- 標準號
- GB/T 14146-2009
- 別名
- GBT14146-2009, GB14146-2009
- 發(fā)布
- 2009年
- 總頁數(shù)
- 9頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 替代標準
- GB/T 14146-2021
- 當前最新
- GB/T 14146-2021
- 引用標準
- GB/T 14847-1993 GB/T 1550-1997 GB/T 1552-1995
- 被代替標準
- GB/T 14146-1993
- 適用范圍
- 本標準規(guī)定了硅外延層載流子濃度汞探針電容-電壓測量方法。
本標準適用于同質(zhì)的硅外延層載流子濃度測量。測量范圍為：4×10
cm ～8×10 cm 。 本標準測試的硅外延層的厚度必須大于測試偏壓下耗盡的深度。 本標準也適用于硅拋光片的載流子濃度測量。
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