本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用安裝在掃描電鏡(SEM)或電子探針(EPMA)上的能譜儀對試樣上特定點或特定區(qū)域進行定量分析的方法。定量分析是指用質(zhì)量分?jǐn)?shù)(或百分?jǐn)?shù))表示元素的含量。正確鑒別試樣中所有元素是定量分析中必不可少的組成部分,因此,本標(biāo)準(zhǔn)也包含這方面的內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)提供了多種能譜法定量分析方法,本標(biāo)準(zhǔn)適用于利用參考物質(zhì)或“無標(biāo)樣”程序?qū)|(zhì)量分?jǐn)?shù)高于1%的元素進行定量分...
隨著探頭制造技術(shù)水平的提高、電子學(xué)技術(shù)的發(fā)展,以及對脈沖處理技術(shù)和重疊峰處理方法的改進,能譜定量分析的精度得到不斷提高。目前,對原子序數(shù)在11~30之間的常用元素,其分析精度大體上可以達到波長譜儀的水平。由于能譜定量分析的方法簡單、操作方便,它既能進行大試樣的平均成份分析,也能進行微粒、薄板、鍍層...
大多數(shù)元素在50~1000eV能量范圍內(nèi)都有產(chǎn)額較高的俄歇電子,它們的有效激發(fā)體積(空間分辨率)取決于入射電子束的束斑直徑和俄歇電子的發(fā)射深度。 能夠保持特征能量(沒有能量損失)而逸出表面的俄歇電子,發(fā)射深度僅限于表面以下大約2nm以內(nèi),約相當(dāng)于表面幾個原子層,且發(fā)射(逸出)深度與俄歇電子的能量...
本文對作者建立的微區(qū)成分無標(biāo)樣定量分析法進行了簡化,使原有的計算量大為減少。用簡化模型對Cu-Si,FeS2,NaCl,GaAs試樣和多元鋼樣原實驗數(shù)據(jù)進行了定量計算,并與原模型多元程序計算結(jié)果進行比較。結(jié)果表明,這種簡化是合理的...
俄歇電子強度與樣品中對應(yīng)原子的濃度有線性關(guān)系,據(jù)此可以進行元素的半定量分析。俄歇電子強度除與原子的濃度有關(guān)外,還與樣品表面的光潔度、元素存在的化學(xué)狀態(tài)以及儀器的狀態(tài)(譜儀對不同能量的俄歇電子的傳輸效率不同)有關(guān),譜儀的污染程度、樣品表面的C和O的污染、吸附物的存在、激發(fā)源能量的不同均影響定量分析結(jié)果...
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